drylin®直线滑动轴承无尘室兼容性、ESD兼容性和RoHS

经 Fraunhofer 测试的设备  

被测试的drylin®导向系统展现了一种独特的无尘室适用性。 在这方面,个别无尘室等级必须考虑所需的速度和载荷。 根据SEMI E78-0998(最高评价),iglidur ® J和硬质阳极化铝的结合在 ESD相容性中是“第1级”。

所有drylin®直线导轨专为干运行设计,并在此条件下经过了测试。 无需油或油脂被用作额外的润滑剂。

以下来自易格斯的drylin®导向系统已经过测试:N40, W10, T25和T30

drylin® 直线滑动轴承直线导向装置 NK-02-40-02

易格斯制造的直线导向系统 drylin®NK- 02 - 40 - 02,在速度为1 米/秒时,检测尺寸可能与计算的阈值相差0.2 μ m, 0.3 μ m, 0.5 μ m和5 μ m。这符合在无尘室内按照DIN EN 14644-1制定的ISO 6级标准。
根据 SEMI E78-0998 ESD相容性测量结果表明,直线导向系统drylin® NK- 02 - 40 - 02可被归类为“1级” 。 Fraunhofer IPA 报告编号:IG 0308- 295 73

直线导向系统DryLin® TK-01-30-01

易格斯直线导向系统drylin® TK-01-30-01,在速度为0.1 米 /秒时,检测尺寸可能与计算的阈值相差0.2 μ m, 0.3 μ m, 0.5 μ m和5 μ m。这符合在无尘室内按照DIN EN 14644-1制定的ISO 3级标准 “

drylin® 直线滑动轴承直线导向装置 TK-01-25-02

易格斯直线导向系统drylin® TK-01-25-02,在速度为0.1 米 /秒时,检测尺寸可能与计算的阈值相差0.2 μ m, 0.3 μ m, 0.5 μ m和5 μ m。这符合在无尘室内按照DIN EN 14644-1制定的ISO 1级标准
根据 SEMI E78-0998 ESD相容性测量结果表明,直线导向系统drylin® TK-01-25-02可被归类为“1级” 。

drylin® 直线滑动轴承直线导向装置 WK-10-40-15-01

易格斯制造的直线导向系统 drylin® TK-10-30-01,在速度为1 m/s时,检测尺寸可能与计算的阈值相差0.2 μ m, 0.3 μ m, 0.5 μ m和5 μ m。这符合在无尘室内按照DIN EN 14644-1制定的ISO 6级标准。
根据 SEMI E78-0998 ESD相容性测量结果表明,直线导轨drylin ® WK-10-40- 15-01可被归类为“1级” 。 Fraunhofer IPA 报告编号:IG 0308- 295 74

 
 
 
无尘室 drylin® 直线滑动轴承

测量微粒磨损

 
drylin® 直线滑动轴承 NK-02-40-02
无尘室 drylin® 直线滑动轴承

测量微粒磨损

 
drylin® 直线滑动轴承 TK-01-25-02
无尘室 drylin® 直线滑动轴承

测量微粒磨损

 
drylin® 直线滑动轴承 WK-10-40-15-01
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